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氧化铟锌(IZO)靶材InZnOx
铥铁氧(铥铁石榴石)靶材Tm3Fe5O12
氧化钇稳定氧化锆(YSZ)靶材ZrO2-Y2O3
钇铁氧(钇铁石榴石)靶材(Y3Fe5O12)
氧化锗靶材(GeO2)